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这场实验已经接近十几次了!
这次是最接近成功的一次!
极紫外光刻机太重要了。
有了它,只要有了芯片图谱,就可以制造出来相应的芯片!
而就在不久之前,顾援军实验了7nm芯片图谱,还在实验阶段!
而今天,他们就是要利用光刻机生产7nm芯片!
如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!
终于,在万众瞩目中,液晶屏幕上的进度条拉满!
一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。
这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
再用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。
叶羽这个时候立刻上去开始查看数据。
随后他有些苍白的脸上露出了浅淡的笑意。
他看向自己的老师,对方已经明白了结果。
“我宣布,国产第一台7nm极紫外光刻机,研制成功!”
声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!
甚至有的人激烈的拥抱在了一起!
“成功了!!!!7nm芯片啊!!!!”
“咱们终于可以挺起腰杆来做人了!”
“7nm极紫外光刻机!7nm芯片!!!外国佬,就你们有7nm?”
实验室内笑闹作一团,更多的是喜极而泣,心情的那点迥然早已不见,全都是发自内心的喜悦。
……
是的,接下来只要能研究出来图谱,那么这台光刻机就能制造出来!几位院士也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了!
其实他们来之前,还是觉得这次会失败的!因此根本就没有抱多大的希望!
如今这事实就这么摆在他们面前!
但是现实告诉了他们结果!
实在是给了他们太大的惊喜!
“叶小子,干的漂亮啊!”
“老顾,你后继有人了!这次你和小叶都立了大功啊!”
“我国有叶羽和老顾,半导体行业才能如此突飞猛进啊!”
几个院士说的毫不夸张!
顾援军研究了芯片图谱出来,而叶羽拿出了光刻机图谱出来。
这一前一后,这师生两个可以说是相辅相成!
在大家庆祝的时候,只有顾援军一个人默默的进入了净室。
扶着身心俱疲的叶羽一起从净室出来。
“老师,详细的数据报告还需要一会儿时间,我可以再等等。”
叶羽知道老师是担心自己的身体,但是他很想等到详细数据报告。
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