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几个科研人员开始操作机器上的旋钮。
很快硅片就在卡槽内开始旋转起来。
其实这一步也属于打磨,只不过要在打磨之后完成抛光。
很快在三个刷头的研磨下,暗沉的硅片开始散发出了光泽!
几分钟后,硅片表面完全变成了一个非常完美的镜面!
抛光完成之后,涂胶机的触手吸住了硅片,将硅片放到了另一个卡槽里。
托盘开始旋转,光刻胶就从触手的吸盘处开始向外扩散。
一层黑色的光刻胶就均匀的涂抹在了硅片上。
因为做过倒角的原因,光刻胶非常均匀,而且边缘部分也没有沉淀!
检验这张12英寸晶圆的最好方法就是放入光刻机,直接进行光刻!
所以几乎是马不停蹄,晶圆被吸入了光刻机里。
经过几分钟的等待,一片光刻好的晶圆就诞生了。
直到这一步,所有的工程师才欢呼起来!
“成功了!”
“一次性成功!”
“天啊,真不敢相信,我们居然有了光刻机和芯片的原材料!”
很快,一片片的晶圆开始进行抛光然后涂胶。
不多时,详细数据就已经有了。
“报告,12英寸晶圆生产线的损耗率仅有12”
“损耗率比国外低79!”
这个数据无疑是惊人的!
因为12的损耗率实在是太低了。
硅片因为过薄而崩裂是一种非常常见的事情!
而12的损耗代表什么!?
每一百片硅片会分1~2片!
国外可不只是这么简单了!
几个院士此时也无比激动!
这个成品率简直惊世骇俗!
其实最大的原因还是因为多线切割机这个想法!
简直是一个极度聪明的点子!
现在。
12英寸晶圆实现国产,国内的芯片制造就彻底不需要担心被卡脖子了!
而且芯片成本也会大幅度下降!
直到现在,华夏的芯片之路才算是真正的和国外走在了同一个水平线上!
“小叶,你真是半导体行业的天才!”
“12的损耗率!了不起啊!这次叶羽在12英寸晶圆技术上,有无可替代的作用!”
“要不是小叶的这些图纸,我们恐怕五年之内都要对国外望其项背啊!”
几位院士的话真的是毫不夸张。
因为多线切割机的创意是叶羽提出来的。
要是没有叶羽,他们可能还在纠结内圆切割机的问题!
其中所有机器中,最重要的还是化学机械抛光机!
国内的机器全是从外国进口!
人家要是哪一天不高兴卖了,那么国内的晶圆发展当场就死机。
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